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III-V族閃耀IEDM 2011 - Compound Semiconductor

利用離子束技術的表面結構化MEMS零組件. 微機電系統（MEMS）零組件在過去十年中已廣泛滲透到汽車行業、移動. 通信等各個領域的感測器市場。MEMS技術在替代元件方面的 ...

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