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選擇比研究與SC1溶液對氮化鈦溼蝕刻速率研究

... 矽 ； 氮化鈦 ； selectivity ； etch ； CHF3/O2 ； ICP-RIE ； SixNy ； TiN ... 論文中除了詳細描述蝕刻過程外，也介紹了各成長系統原理及電漿物理、蝕刻反應。

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