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ICP (SAMCO RIE10iP) - 中研院物理所公用儀器

儀器全名：氧化物深蝕刻機(Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching System 型號：RIE-10iP); 服務簡介：RIE-10iP內建觸控平板，配有Ar, O2, CH4, CHF3, ...

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