你即將離開本站

並前往https://www.hangjianet.com/topic/15104163578910000

【面板制程刻蚀篇】史上最全Dry Etch 分类 - 行家说

PE模式原理. 3. 电感耦合等离子体（ICP）. 除了PE及RIE机台，array制程最常用到的还有ICP（Inductively Coupled Plasma ）模式。 ICP的上电极是一个 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「icp rie原理」的人也找了：

  1. rie蝕刻原理
    2.
  2. ICP RIE vs RIE
    3.
  3. 反應離子蝕刻原理
    4.
  4. RIE plasma
    5.
  5. RIE Etching
    6.
  6. icp蝕刻
    7.
  7. 感應耦合 電 漿 蝕刻 原理
    8.
  8. rie製程
    9.