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電漿蝕刻機

MAXIS ICP-300LAH乾式蝕刻機產能較大，Batch式的載盤，其工作原理是利用電漿來進行 ... 蒸濺鍍)、CVD(PECVD、MOCVD、ThermalCVD)、乾蝕刻Dry etching(ICP、RIE、Ion ...

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