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蝕刻技術

Etching )與乾式蝕刻(Dry Etching)兩種技術。 ... 涵蓋的內容包括電漿產生的原理、電漿蝕刻中基本的物理與化學現象、電漿蝕刻的機制、電漿蝕刻製程參數、電漿蝕刻設備與 ...

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