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面板制程刻蚀篇】史上最全Dry Etch 分类、工艺基本原理及良率 ...

Dry Etch 工序的目的广义而言，所谓的刻蚀技术，是将显影后所产生的光阻图案真实地转印到光阻下的材质上，形成由光刻技术定义的图形。它包含了将材质整面均匀移除及图案 ...

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