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電子材料連水養(S. Y. Lien) 電漿的基礎原理、製程與應用

電漿的基礎原理、製程與應用. 務必好好研讀，懂電漿就不怕沒工作！ ... 蝕刻(Etching). • 物理氣相沉積(PVD) ... 感應耦合型電漿(ICP)和電子. 迴旋共振(ECR).

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