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蝕刻機原理 - Sword

蝕刻機原理. Dry etching（干蝕刻）. 將特定氣體置於低壓狀態下施以電壓，將其激發成各種不同的帶電荷離子、原子團、分子以及電子（這種物質狀態稱為Plasma）並利用 ...

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