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【讨论】ICP 和RIE的区别～ - 微米纳米- 小木虫

ICP 刻蚀，多了一个RF，其中环形RF用于产生交变电场，当电压足够高时，气体产生放电进入等离子态，而通过交变的电磁场使等离子体中电子路径改变，增加了等离子体密度。而另 ...

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