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使用感應式耦合電漿反應式離子蝕刻系統蝕刻氮化矽與氮化鈦

論文中除了詳細描述蝕刻過程外，也介紹了各成長系統原理及電漿物理、蝕刻反應。 ... In this thesis, the dry etching of PECVD-SixNy and sputtered TiN was ...

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