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【蚀刻升级篇】剖析干蚀刻和湿蚀刻的作用、制程及其原理 - 网易

化学性时刻：利用Plasma中的反应性粒子与膜层发生化学反应，造成等向性蚀刻。 Physical and Chemical etching. Dry etcher的基本构造. 机械本体系统. 1 ...

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