Dry Etch 的分類及工藝的基本原理. 蝕刻技術中的術語. 1. ,... 轉到光阻上,然後再利用. 蝕刻,來完成圖案轉移到薄膜上的目的. ◇蝕刻技術. ➢ 乾蝕刻. ➢ 濕蝕刻.
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