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轉載:ICP工藝的基本原理是什麼@ Chinganchen的部落格 - 隨意窩

因ICP 之偶合方式係藉由磁場所產生，由電磁理論得知其電場，即離子加速方向，是以環繞此一磁場且平行於晶片表面之切線方向。所以當輸入之功率（通常以RF之頻率為主）加大時 ...

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