乾式蝕刻的原理... 反應性離子蝕刻法(Reactive Ion Etch,RIE),介於濺擊. 蝕刻與... ICP. TCP. 使用頻率. 2.45 GHz 13.65 MHz. 2 MHz. 13.65 MHz. 氣壓( mTorr).
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