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ICP-RIE设备工作原理介绍 - 知乎专栏
ICP -RIE全称是电感耦合等离子体刻蚀机,是半导体芯片微纳加工过程中必不可少的设备,可加工微米级纳米级的微型图案(如下图所示)。其基本原理是先在 ...
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