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感應耦合式電漿蝕刻系統

(Inductive Couple Plasma Etcher, ICP Etcher). 儀器簡介 ... 之設備，搭配C4F8、SF6氣體與低溫載盤來建置Bosch Deep Si Etching 方式的深蝕刻. 矽基材參數。

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