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乾蝕刻技術

(isotropic etching) ，這種蝕刻線寬會變大而側壁(side wall) 呈弧形，稱額外 ... 蝕刻原理. 台灣師範大學機電科技學系. C. R. Yang, NTNU MT. -12-. ICP-RIE SEM圖 ...

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