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【蚀刻升级篇】剖析干蚀刻和湿蚀刻的作用、制程及其原理 - 网易

ICP =Inductively Coupled Plasma（电感耦合等离子体蚀刻）. Chemical +physical (ion). 上部是coil状的诱导电极，下部是bias电源。

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