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蝕刻技術

涵蓋的內容包括電漿產生的原理、電漿蝕刻中基本的物理與化學現象、電漿蝕刻的機制、電漿 ... 感應耦合式電漿(ICP, Inductive Coupled Plasma)或變壓耦合式電漿(TCP, ...

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