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icp蝕刻原理
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電漿的基礎原理www.tool-tool.com
蝕刻 和CVD兩製程都希望在低壓下能得到高密度的電漿。 ○ICP和ECR是最普遍的高密度電漿源。 ○CP和ECR電漿源都能夠單獨控制離子的轟擊流通量和能量。 離子佈植.
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