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電子材料連水養(S. Y. Lien) 電漿的基礎原理、製程與應用

電漿的基礎原理、製程與應用 ... 電漿蝕刻. ▫ 氧化物蝕刻製程，在電漿中使用CF. 4. 產生氟(F)的自由基 ... ICP可以在低壓的狀態(幾個毫托)製造. 高密度電漿.

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