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太陽電池之大面積電感耦合電漿乾蝕刻粗糙化製程開發研究成果 ...

在現今的乾蝕刻製程技術上，低壓、高密度的ICP電漿蝕刻系統將逐漸取代傳統式電漿 ... 方電極使用靜電夾盤，利用靜電力的原理來固定玻璃基板或非晶矽/玻璃基板試片。

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