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開發高密度電漿深蝕刻技術應用於矽晶圓切割 - 國立成功大電子 ...

中文關鍵詞：, 矽深蝕刻、電漿切割、感應耦合式電漿、Bosch製程、深反應性離子蝕刻. 英文關鍵詞：, deep silicon etching、plasma dicing、inductively coupled ...

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