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【金石堂讀物性價比高】 半導體乾蝕刻技術 - udn部落格

圖解乾蝕刻技術的原理與實務，讓你一讀即懂。 ... 為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP（電感耦合式電漿）之類的高密度電漿，而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿 ...

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