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乾蝕刻技術 - Fytob

作者於1989年，以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年，以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。 圖解乾蝕刻技術的原理 ...

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