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感應耦合電漿離子蝕刻製程應用於光通訊元件之開發研究

合電漿離子蝕刻製程(以下簡稱ICP-RIE) 技術被發. 展出來，知名的Bosch 製程運用 ... 的微結構就只需ICP-RIE 蝕刻技術便可製作出來。 ... 凹面型微光柵的原理如圖17.

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