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乾蝕刻技術乾蝕刻技術Dry etching technique Dry ... - 9lib TW

乾蝕刻沒有液態的蝕刻溶液，主要分為物理濺擊或離子銑削、電漿蝕刻、與介於兩者之間的活性離子蝕刻三類，右圖是三者蝕刻特性與壓力、激發能量的分類關係圖。

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