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ICP-RIE设备工作原理介绍 - 知乎专栏

ICP -RIE全称是电感耦合等离子体刻蚀机，是半导体芯片微纳加工过程中必不可少的设备，可加工微米级纳米级的微型图案（如下图所示）。其基本原理是先在 ...

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