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以光電化學溼式蝕刻氮化鎵之研究張良勇

本研究以光電化學蝕刻為基礎加上偏壓來引誘大量的電子-電洞對，加速氮化鎵氧化還原反應， ... 4 1.2.3 ICP蝕刻． ... 12 2.3 外加偏壓之光電化學溼式蝕刻原理．

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