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rie icp 原理

ICP -RIE全稱是電感耦合等離子體刻蝕機，是半導體芯片微納加工過程中必不可少的設備，可加工微米級納米級的微型圖案（如下圖所示）。其基本原理是先在半導體材料表面加工 ...

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