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自我補償式蘭牟爾探針之製作與量測 - 龍華科技大學

本實驗利用自組裝的感應式偶合電漿( Induced Couple Plasma﹐ICP電漿)系統來控制. 電漿參數再藉由自製的Langmuir Probe來量測電漿中之電流電壓特性曲線，一般而言由於.

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