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icp ms 原理

ICP -MS 感應耦合電漿質譜儀的原理. ... -4 Pa），由擴散泵或渦輪分子泵實現； 3）四極桿和檢測器部分為第三級真空（10 -6 Pa），也由擴散泵或渦輪分子泵實現。

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