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如何利用表面分析工具，抓出半導體製程缺陷 - iST宜特

晶片製程有問題，想抓出缺陷，卻總選錯分析方式? ... 如圖一為典型AES分析IC鋁墊(Al pad)表面定性分析的結果，左圖能譜顯示表面偵測到殘留的元素 ...

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