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2. IC & MEMS分析测试技术_SITRI

MEMS去封装流程（以惯性MEMS为例） ... IC传统截面分析步骤. 样品准备. 样品镶嵌 ... 由于一般MEMS产品的成品率比IC产品要低很多，晶圆级测试可以极大地降低MEMS量.

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