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Chap6 微影PDF - Scribd

曝光技術‹ 曝光分類—接觸式、近接式、投影式‹ 優點：以接觸式方式這種曝光機對晶片執行曝光時，光罩上與晶片的表面是互相接觸的，因此 ... ¾ i line （光源波長3650A）

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