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頭條揭密》美荷日半導體管制細目曝光下一波 ... - Yahoo奇摩新聞

其中EUV早已於2019年停止向中國出口，I-line微影轉印早已非先進技術，因此真正有影響的是ArF浸潤式與乾式DUV，以及KrF的DUV等3種光刻機。

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