EUV光源會被大氣吸收,故整個曝光系統將會被抽真空。 ➢ 因EUV波長太短,現無光學材料可以 ... (奈米). 圖形解析度. (微米). 光罩型式. 曝光設備售. 價(USD$) i-line.
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