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arf光刻工艺是什么？ - KrF - 雪球

ArF、KrF、I-line都是啥？ ... 负性光刻使用的光刻胶在曝光后会因为交联而变得不可溶解，并会硬化，不会被溶剂洗掉，从而该部分硅片不会在后续流程中 ...

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