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i-line曝光機
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雙面對準曝光機台標準操作步驟Double Side Mask Aligner (OAI ...
雙面對準曝光機台標準操作步驟(v2b) ... 開啟右開關:對準機台、真空幫浦、顯微鏡、抽風扇之電源. ... 光源: 450W, Near UV (365, I-line).
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