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產業脈動｜半導體製程重中之重- 微影技術的突破與創新

反觀I-line、KrF、ArF、ArFi曝光機中，目前單價最高的是應用在次關鍵層的ArFi曝光機，價格卻預估從2021年到2025年逐漸下滑。

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