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當年度經費： 755 千元 - 政府研究資訊系統GRB

以氮化鋁薄膜研製深紫外光偵測器之最佳化研究(I) ... 隨著曝光機設備的自製率提高，i-line曝光機之需求由傳統晶圓微影製程，延伸至生物晶片微流道與微機電製程，各廠牌 ...

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