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微影

為曝光。 ◇微影基本製程. ➢光阻覆蓋. ➢曝光 ... 優點：以接觸式方式這種曝光機對晶片執行曝光時，光罩 ... i line （光源波長3650A）. ◇新的製程所用的光源波長KrF ...

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