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I-Line光阻劑於TFT+LCD+Array製程之應用及評估

本研究亦使用量產上的設備(如:光學薄膜測厚儀，光阻旋轉塗佈機，光學歩近式曝光機，顯影機…等)，來評價A公司Resist A及T公司Resist B兩支光阻，以得到與TFT LCD面板 ...

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