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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 核能研究所

1970 年代，利用汞燈產生的g-line(436 nm 波長)的曝光系統問世時，光學微影就 ... 線寬不斷微縮，光源波長也從i-line(365 nm 波長)到利用惰性氣體和鹵素分子結.

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