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i-line曝光機
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微影製程 - 國立高雄科技大學第一校區
塗底─通常以旋鍍機塗佈HMDS ... 利用曝光機移動晶圓,直至光罩上的對準記號與背面之記號 ... >I-line 波長365 nm(常用於0.35微米的IC製程中) ...
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