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國產28nm光刻機即將量產，可通過多重曝光制造7nm芯片

目前來說，光刻機共經歷了五代的發展，從最早的436波長，再到第二代光刻機開始使用波長365nm i-line，第三代則是248nm 的KrF 激光。第四代就是193nm 波長的DUV 激光，這 ...

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