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光刻機之戰– 尋夢科技

90年代前半期，光刻開始使用波長365nm i-line，後半期開始使用248nm的KrF雷射。雷射的可用波長就那麼幾個，00年代光刻開始使用193nm波長的DUV雷射，這就是知名的ArF準分子 ...

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