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IC 縮小術！林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小 - 研之有物

由於光在不同介質中，波長會有所改變，因此我們在考慮如何增加解析度時，可將鏡頭與成像面（晶圓）之間的介質（折射率n）一併納入考量，將λ 改以λ0/n ...

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