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科技小辭典》EDA與EUV - 自由財經

微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片，俗稱為「蝕刻機、光刻機」。最早微影設備光源是採用汞燈產生的紫外光源，從g-line發展到i-line，波長 ...

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